万级无尘车间主要之作用在于控制商品(如硅芯片等)所触摸的大气的洁净度以及温湿度,使商品能在一个杰出之环境空间中出产、制作,此空间咱们称之为万级无尘车间。
按照国际惯例,无尘净化等级主要是依据每立方米空气中粒子直径大于区分规范的粒子数量来规则,也即是说所谓无尘并非100%没有一点尘埃,而是控制在一个十分微量的单位上。
当然这个规范中契合尘埃规范的颗粒相关于咱们多见的尘埃已经是小的微乎其微,可是关于光学结构而言,哪怕是一点点的尘埃都会发生十分大的负面影响,所以在光学结构商品的出产上,万级无尘车间无尘是必定的请求。
万级无尘车间每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘规范的A级。
目前万级无尘车间应用在芯片级出产加工的无尘规范关于尘埃的请求高于A级,这么的高标主要被应用在一些等级较高芯片出产上。
5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也即是业内俗称的1K等级。