无尘车间净化工程在层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘车间等级需定较高之环境使用，一般其无尘车间等级为Class 1~100。其型式可分为二种：水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。由于洁净室的特殊性，一般照明灯具的选型应选用外型表面光滑，凹凸面少不家积灰，容易清扫且用不宜产生静电材料制成的灯具。在满足照度要求外，灯具的选型和布置主要还应根据室内气流流型来考虑，当顶棚为垂直单向流送风口时，如：超大规模集成电路厂的光刻车间，其高效过滤器送风口的面积有时可达顶棚面积的80%左右，这样就给灯具的布置带来了困难。
无尘车间净化工程的净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。可吸附异味和有毒有机物（如甲醛、苯及其衍生物等）等缺点：对微生物（如细菌和病毒）无效且需经常进行再生或更换处理 2紫外线照射优点：可杀灭微生物（如细菌和病毒）。
