十万级无尘车间的要求:
1、空调系统必须经过初效、中效、高效三级过滤处理的净化空调系统。保证送入室内的空气是洁净空气,能对室内污染空气进行稀释。
2、十万级无尘车间室内要证一定的压力,防止无尘室内的空气受外界空气干扰。一般工业洁净室要求室内与室外的压差值为5-10Pa。
3、建筑围护结构必须保证气密性良好,建筑表面光滑,不产尘、不积尘、不泄露。
十万级无尘车间的防静电方法:
1、十万级无尘车间要保持环境有一定的湿度。实在一些重要场所,如计算机机房、实验室、电子仪器的装调车间应考虑保持一定湿度的问题,特别是对那些封闭形的空调房间,更应有一定控制湿度的设备。
2、铺设防静电地板或地毯。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品,能十分有效抑制由于人的行走产生静电。
3、半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中,这种防静电盛放器有良好导电性能,能有效防止静电的产生。当然,有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。
4、对于十万级无尘车间操作人员应在手腕上带防静电手带,这种手带应有良好的接地性能,这种措施最为有效。